研究報告

シリコン酸化膜に埋め込まれた単層シリコンナノ結晶の形状・サイズ・密度変化の追跡～３次元アトムプローブを用いた研究～

最先端の３次元アトムプローブを用いてシリコンナノ結晶を直接観察し、実空間上での形状・サイズ・密度変化を調べた。ナノ結晶の成長条件を決定する上で重要な知見となる。

シリコン酸化膜に埋め込まれた単層シリコンナノ結晶の形状・サイズ・密度変化の追跡 ～３次元アトムプローブを用いた研究～